报告题目：氧化物功能薄膜的可控制备及微纳器件应用
主讲人：卢红亮
报告时间：2022年10月19日下午14：00
报告地点：卢红亮线下-综合楼708会议室
线上-腾讯会议
会议号：690-954-901
主办单位：电气工程学院
主讲人简介：卢红亮，复旦大学微电子学院，教授。曾留学意大利微电子材料和器件国家实验室及日本东京大学，2010年人才引进进入复旦大学微电子学院工作。目前主要从事基于先进集成电路工艺和器件相关的氧化物存储器和晶体管、智能微纳传感器及原子层沉积（ALD）技术等领域的研究。主持了国家02重大专项课题、国家重点研发计划、军委科技委创新特区、863计划及国家自然科学基金青年和面上项目、企业产学研合作等20多项国家级项目，参与撰写出版了多本半导体领域的专业书籍。并在Advanced Materials、ACS Nano、Nano Energy, Applied Physics Letters, IEEE Electron Device Letters等国际主流期刊发表了200余篇论文。申请国内发明专利30多项，并获得了1项上海市“技术发明奖”二等奖和上海市真空青年创新奖。
报告内容：报告将主要介绍复旦大学微纳电子器件平台、所领导的团队利用ALD技术可控制备微电子、光电子新型复合氧化物功能薄膜以及其在晶体管、存储器和传感器等方面的研究成果。
